HMDS前処理システムは5つの利点を導入

誰かが私に尋ねた、HMDSの前処理システムがとても良い、何の利点は何ですか？今日Xiaobianはあなたに伝えるために来て、HMDSの前処理システムは5つの利点があります。

（1）前処理性能が良好であり、数回の窒素置換を行った後にHMDS処理を行ったために粉塵干渉がない。さらに、システムは "ディベーキング"とHMDSの処理であるため、同じプロセスでは、同じ容器、コンテナ内のウエハーは、水焼きに100℃-200℃後、HMDS処理に続いて来る必要はありません容器から、大気への暴露、チップは水を吸収する分子の機会が大幅に削減され、より良い治療効果があります。

（2）より均一な処理。蒸気の形でウエハの表面に塗布されるので、均一性に匹敵しない液体コーティングが存在する。

（3）高い効率。液体コーティングは単一のチップ操作であり、システムは一度に複数のチップまで処理することができる。

（4）液体の節約。実践は、より多くのマルチチップ液体を処理するためにシステムの使用よりもシステムによって使用される液体HMDSコーティングモノリシック液体の使用を証明した。

（5）より環境に優しく安全なHMDSは毒性のある化学物質であり、悪心、嘔吐、腹痛の後に吸入され、胸や呼吸器などを刺激する。薬液や蒸気へのアクセスはより安全で、排気は機械式ポンプから排気処理装置に直接送られるため、環境汚染を引き起こすことはありません。