製品情報
合肥真萍テクノロジー有限会社
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自動管式炉
- 商品の詳細
- 製品情報パラメータ
- 適用分野
一、設備の名称、型番：12寸ウエハー自動管式炉
二、システム構成
2.1FABに材料の上下に料口（併列）FOUP ID識別Wafer位置を識別操作起動スイッチ
2 . 2ウエハー輸送
2.2.1FBA蓋を開けFOUP固定、ロック解除を取って、蓋
2.2.2ウエハー輸送機械手腕式伝送高純度AL2O3パレットに計画をFOUPウエハーからパス転送炉体装荷腔中
2.2.3炉体蓋を開けØ炉装入弁弁は体のドアを開く
2 . 3炉体（熱処理）
2.3.1外部加熱弁を採用してステンレスコートを採用し、中部FECヒーターと相応の保温材、内部は石英炉心管多層リング加熱器、有効利用高度> 1000 mmの長さに底通工芸雰囲気と、O 2 N 2プログラミング選択煙凝縮回収底は保身护盖体機能分解温度を下げる機能高温タール方式：送風機の空気を吹き込む炉心管とヒーターの間に挟まれた強制空冷弁、温度を下げる。多重多層環状吸気、保証炉膛の冷却制御
2.3.2装荷腔石英ブラケット、処理量はじゅう0PCS 12 inchウエハー昇降採用移動式船台機構（無レバー電気シリンダー）は、
2 . 4制御キャビネット箱に
2.4.1エア源Ø空気、O 2 N 2を、ロジック制御Ø調節各吸気の流量
2.4.2電源箱Ø動力配電Ø計器器具放置Ø酸素含有量分析システムオプション
2 . 5制御システムインターフェースタッチパネル方式を採用しØØコアコントローラ採用組み込みコントローラØ超温保護を独立検出デバイスØは酸素含有量検出機能をØ運動制御サーボ/ステッピング制御ユニットØ伝送を専門にウエハー伝送機械人Øソフトは機能：温度制御制御技術、雰囲気、編集、データを記録し、グラフ。
三、基本的な構成
3.1処理製品:12 inchウエハ
3 . 2処理量：90PCS /管、共180PCS
3 . 3ヒータ：円形FEC加熱板
3.4加熱区域：> 1000 mmの長さを
3 . 5の外形寸法：本体：2500×３５００×3500（W×D×H）の制御キャビネット：800×600×××D 2200（W H）
3 . 6に料口に
3 . 7：機械手：いち
四、技術指標
4.1長期使用温度：350℃で、最高温度：750℃です；
4 . 2加熱速度：>さん0℃/ min
4.3冷却速度：>ご/ min
4 . 4℃加熱効率：36kW（单炉）、
4 . 5加熱温区：さん、
4 . 6炉温均一性：±ななしち℃（350℃の恒温）；
4 . 7プログラム制御：P.I.D制御；
4 . 8温度制御方式：SSR
4 . 9控温かい私：K割出し；
4 . 10：N / O 2；
4.11雰囲気炉膛材料：石英ガラス；
４・１２保温材料：セラミック繊維;
4.13雰囲気制御：マルチメーター調節吸気、流量計範囲は24～240L/ min；
4 . 14を披露排気システム：上部に設置される排気煙突、排気ガスの排出、回収設備；
4.15重量：約2t、
12寸ウエハー用
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