製品情報
嫌気性オーブンを硬化させるコンピュータ化フォトリソグラフィー
- 商品の詳細
- 製品情報パラメータ
- 適用分野
精密電子部品、フォトレジスト硬化、電子セラミック材料、特別なプロセス要件のダストフリー乾燥、同様の外国の技術とオーブンでの長い経験と組み合わせて使用され、特別に設計された。主な特徴は次のとおりです。
すべてのセラミック繊維断熱材のボックス選択、高速加熱、省エネルギーなど。
ユニークな空気供給、排気システムは、炉の温度を均一にするために。
清浄度の要求を確実にするための吸引パイプガラスフィルター。
同じ時間
まず、技術指標と基本設定:
1.1動作温度:RT〜400℃、最高温度:450℃。
1.2単一炉有効サイズ:800×600×600mm(W×H×D)。 700 * 500 * 500
1.3炉室番号:2、上下のレイアウト;
1.4炉の材質:SUS321ミラーステンレス鋼;加熱要素:ステンレス鋼ヒーター;熱電対:
1.5空の炉加熱時間:1.5時間;
1.6空炉冷却時間:300℃-50℃冷却時間1.5-3.5時間(水冷フィンラジエータを使用)。
1.7温度および酸素含有量記録:輸入紙なしレコーダー;
第2に、酸素含有量(酸素分析器を用いて):
2.1高温状態の酸素含有量:≦10ppm +空気源の酸素含有量;
2.2低温状態の酸素含有量:≦20ppm +原料酸素含有量
2.3温度コントロールの安定性:±1℃;温度均一性:±10℃(400℃プラットフォーム)。
第三に、イベントの出力:
3.1構成PLCは、マルチイベント出力制御雰囲気、水や他のスイッチとアラームを達成することができます。
3.2コントロール:上部と下部のチャンバーは、別の温度制御、換気、警報の保護することができます。
3.3温度制御装置:日本アイランド電気FP93温度コントローラ;
3.4温度制御セクション:4×10。温度制御点:2点;
3.5過熱アラームポイント:2ポイント;検出点:2点;
3.6過温度保護:過温度保護、過温度保護:過温度保護:独立した温度に敏感な過熱保護。モーター保護:モーター過電流、水冷保護;表面温度.
この装置は、乾燥のための一定の温度条件で様々な製品または材料、電気、計装、コンポーネント、エレクトロニクス、電気および自動車、航空、通信、プラスチック、機械、食品、化学薬品、 温度適応試験。
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